Ein Vakuumofen besteht aus einem speziellen Raum in der Ofenkammer und einem Vakuumsystem (sorgfältig zusammengesetzt aus Vakuumpumpe, Vakuummessgerät, Vakuumventil und anderen Komponenten), das dazu verwendet wird, einen Teil der Substanzen in der Ofenkammer abzulassen, sodass der Druck in der Ofenkammer niedriger ist als der normale Atmosphärendruck, und der Raum in der Ofenkammer dazu verwendet wird, einen Vakuumzustand zu erreichen. Es handelt sich also um einen Vakuumofen.
Ein Vakuumofen ist ein Gerät, das sich in einer Vakuumumgebung erhitzt. Die Ofenkammer ist mit dem Hochvakuumpumpensystem in einem Ofen verbunden, der mit einer Metall- oder Quarzglasabdeckung versiegelt ist. Der Vakuumgrad des Ofens kann 133 × (10-2 ~ 10-4) Pa erreichen. Das Heizsystem im Ofen kann direkt durch elektrisches Erhitzen eines Widerstandsofendrahts (z. B. Wolframdraht) oder durch Hochfrequenzinduktion erhitzt werden. Die maximale Temperatur kann etwa 3000 Grad erreichen. Es wird hauptsächlich zum Brennen von Keramik, zum Vakuumschmelzen, zum Entgasen und Glühen elektrischer Vakuumteile, zum Löten von Metallteilen und zum Versiegeln von Keramik und Metall verwendet.
