Besonderheit
● Maximaltemperatur RT-1200 Grad
● Geteilter Ofentyp, Sie können den Ofen öffnen.
● Kann mehr als 2 Gaskanäle mit einem Vakuumgrad von 10 Pa einführen, indem eine mechanische Pumpe und eine 500-W-HF-Stromversorgung zur Signalverstärkung verwendet werden.
● Hochwertiges Leistungsisolationsmaterial aus Aluminiumoxidkeramikfasern
● Temperaturregelgenauigkeit ±1 Grad
● Mit Übertemperatur-Alarmfunktion
● Ein Kühllüfter kann die Temperatur des Gehäuses senken
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Modell |
SK2-CVD-12TPB4 |
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Abmessungen: Standard Heizzonenlänge (mm) |
440 mm |
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Abmessungen: Standard-Rohrdurchmesser (mm) |
∮60 mm |
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Max. Temperatur |
1200 Grad, Dauerbetriebstemperatur 1100 Grad. |
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Spannung (V) |
220 1P |
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Thermoelementtyp |
K |
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Heizkörper |
Widerstandsdraht aus HRE-Legierung |
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Temperaturpräzision |
±1 Grad |
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Erwärmungsrate |
0-30 Grad /min freie Einstellung |
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Kammermaterial |
Verwendung von hochqualitativem mikrokristallinem Aluminiumfasermaterial |
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Ofenstruktur |
Doppelschichtige luftgekühlte Struktur, Oberflächentemperatur weniger als 60 Grad |
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Temperaturregler |
Intelligentes PID-Temperaturregelgerät, 30 Programmsegmente, SSR-Steuerung, Selbstoptimierungsfunktion für PID-Parameter; Programmtemperaturanstieg, Programmwärmeerhaltung, Programmkühlung |
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500W HF-Netzteil |
Ausgangsleistung: 5-500W ±1 Grad HF-Frequenz: 13,56 MHz ±0,005 % Reflektierte Leistung: bis zu 100W Übereinstimmung: Automatisch HF-Schnittstelle: 50Ω, N-Typ Kühlung: Luftkühlung Stromversorgung: AC 208-240V, 50/60HZ |
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4-Gaskanal-Präzisionsflusssystem |
1. Volle Durchflussrate (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) ml/min. 10 l/min. 2. Ventiltyp: Magnetventil. 3. Ruhestellung des Ventils: Normalerweise geschlossen. 4. Differenzdruck: (50-300)kpa 5. Druckbeständigkeit: 3 MPa. 6. Betriebstemperatur: 5-45 Grad 7. Materialien: Edelstahl 316L. |
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Vakuumsystem |
5*10-3Pa KF25 Schnellkupplung, Edelstahlbalg, manuelles Klappenventil und Flansch, Vakuumpumpe Optional können auch Systeme mit höherem Vakuum ausgestattet werden.
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WILLKOMMEN OEM/ODM |
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Standardzubehör
Thermohandschuhe|Tiegelhaken|Thermoelement|Rohrblock|Benutzerhandbuch|Werkzeuge|Vakuumpumpe|Quarzrohr|Flansch|Dichtungsring|10 mm-Gasschlauch|Flanschhalterung, Gassystem, HF-Stromversorgung.
Wahlfrei
Verschiedene Heizzonen zur Auswahl;
LCD-Touchscreen-Steuerung zur Auswahl
RS485/USB-Anschluss zum Anschließen eines Computers nach Auswahl.
Detailbild für CVD-PECVD



Anwendung
Dieses Gerät wird hauptsächlich zum Züchten von Nanodrähten oder zum Vorbereiten verschiedener Dünnschichtzüchtungen mittels CVD-Methode verwendet.
Garantie
Ein Jahr Garantie und lebenslanger technischer Support
Besondere Tipps:
1. Verbrauchsmaterialien wie Heizelemente, Quarzrohre, Probentiegel usw. fallen nicht unter die Garantiezeit.
2. Schäden, die durch die Verwendung von ätzenden Gasen und sauren Gasen entstehen, werden nicht von der Garantie abgedeckt.
Beliebte label: 1200c Drei-Heizzonen-PECVD-System, China 1200c Drei-Heizzonen-PECVD-System Hersteller, Lieferanten





