Produktbeschreibung
Der 1200-Grad-3-Heizzonen-CVD-Vakuumdrehrohrofen integriert drei unabhängige Temperaturkontrollzonen, ein rotierendes Reaktionsrohr, ein Hochvakuumsystem und eine Präzisionsgasversorgungseinheit. Der segmentierte Wärmegradient und das vollständig rotierende Design sorgen für eine ultra-gleichmäßige Dünnfilmbeschichtung für pulverförmige und körnige Substrate unter Vakuumatmosphäre. Maximale Temperatur 1200 Grad, genaue Temperatur- und Gasflusssteuerung, ideal für die CVD-Synthese neuer Energie, Halbleiter und Nanomaterialien.
Technische Parameter
1200 °C, 3 Heizzonen, CVD-Vakuum-Drehrohrofen
| Modell | SK2-XY-12TPR |
| Max. Design (Abschluss) | 1200 |
| Arbeitstemperatur (Grad) | 0-1100 |
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Rohrdurchmesser (mm) T x B x H (mm) |
100mm |
| Heizzonenlänge (mm) | 200+200+200mm |
| Spannung (V) | 220V 1Phase |
| Thermoelementtyp | K |
| Max. Vakuum | -0,1 MPa |
| Heizrate | 0–20 °C/Min |
| Temp.Präzision | ±1 Grad |
| Material der Ofenkammer | Feuerfeste Kammer aus Aluminiumoxid-Keramikfaser der Güteklasse 1430 |
| Einlassgas/Atmosphäre | 2-Wege-Schwimmer-Durchflussmesser-Luftansaugsystem, maximaler Überdruck nicht mehr als 0,02 MPa |
| Gaskontrolle | Das Produkt im Bild verfügt über eine Lufteinlass- und eine Auslassöffnung mit Kugelhahn. Beide Enden können an eine Vakuumpumpe angeschlossen oder ein Durchflussmesser hinzugefügt werden. |
| Vakuumsystem | Einstufige-Drehschieberpumpe Enddruck: 5 Pa Maximales Vakuum des Ofens: -0,1 MPa Abgedichtete Verbindungen mittels Faltenbälgen, Kugelhähnen und Klemmen |
| Versiegelungsweg | Das Gerätegehäuse besteht aus Kohlenstoffstahl und einem Flansch aus Edelstahl 304, der geöffnet und einfach installiert und entfernt werden kann. Das Gehäuse ist oxidations-, säure- und alkalibeständig und verfügt über eine doppelte Abdichtung. |
| Sicherheit bei der Temperaturkontrolle | Übernehmen Sie den international fortschrittlichen Yudian 518P-Temperaturregler mit 30 programmierbaren PID-Selbstoptimierungen, automatischem Temperaturanstieg und automatischem Temperaturabfall, keine Pflicht. |
| Temperaturregler | Touchscreen-Modell. Mithilfe fortschrittlicher Temperaturinstrumente können 50 Segmentprogramme mit hoher Temperaturregelgenauigkeit, SSR-Regelung und PID-Parameter-Selbstoptimierungsfunktion eingestellt werden. Programm Temperaturanstieg, Programm Wärmeerhaltung, Programm Abkühlung |
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Standardzubehör Quarzrohr|SS-Flansch|Vakuumpumpe|Thermohandschuhe|Tiegelzange|Thermoelement|Benutzerhandbuch |Tools | |
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| Zertifizierung:CE, ISO, SGS usw., mehr als 30 Patentzertifizierungen | ||||
| Garantie:Ein{{0}Jahr Garantie (ausgenommen Verschleißteile) und langfristiger technischer Support |
Produktdetails
Firmenvorstellung
Wir sind Experten für Hochtemperaturöfen
Das Unternehmen gilt als weltweit führender Hersteller von Labor-Hochtemperatur-Elektroöfen und bietet Produkte und Dienstleistungen von außergewöhnlicher Qualität.
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1K +Abgeschlossene Projekte1k vollständige Arbeit
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Zertifizierung
Ehre und Qualifikation
Offizielle Zertifizierung, professioneller Kundendienst.
CE
CE
CE
ISO9001
SGS
Vorsichtsmaßnahmen für die Verwendung:
Der Gasdruck im Ofenrohr darf nicht höher als 0,02 MPa sein
·Aufgrund des hohen Gasdrucks in der Gasflasche muss beim Einleiten des Gases in das Ofenrohr ein Druckminderventil an der Gasflasche installiert werden. Um die Sicherheit zu gewährleisten, wird empfohlen, einen Druck von weniger als 0,02 MPa zu verwenden. Es wird empfohlen, ein Druckminderventil von unserem Unternehmen zu erwerben. Der Bereich des Druckminderventils unseres Unternehmens liegt zwischen 0,01 MPa und 0,1 MPa, was bei der Verwendung genauer und sicherer ist. Wenn die Temperatur des Ofenkörpers mehr als 1000 Grad beträgt, darf sich das Ofenrohr nicht im Vakuumzustand befinden und der Gasdruck im Ofenrohr muss dem Atmosphärendruck entsprechen.
·Der in das Ofenrohr eintretende Gasdurchfluss muss weniger als 200 SCCM betragen, um den Einfluss des Kaltluftstroms auf das beheizte Quarzrohr zu vermeiden.
·Die Langzeitgebrauchstemperatur des Quarzrohrs beträgt<1100℃.
·Für das Experiment zur Probenerwärmung wird nicht empfohlen, das Auslassventil und das Lufteinlassventil am Flanschende des Ofenrohrs zu schließen. Wenn Sie das Gasventil schließen müssen, um die Probe zu erhitzen, müssen Sie jederzeit auf das Manometer achten. Wenn der Druckwert mehr als 0,02 MPa beträgt, müssen Sie sofort das Entlüftungsventil öffnen, um Unfälle (z. B. Ofenrohrbruch, Herausfliegen des Flansches usw.) zu verhindern.
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