1700C Hochvakuum-CVD-Rohrofen mit MFC-System

Vorsichtsmaßnahmen für die Verwendung:
Der Gasdruck im Ofenrohr darf nicht höher als 0,02 MPa sein
·Aufgrund des hohen Gasdrucks in der Gasflasche muss beim Einleiten des Gases in das Ofenrohr ein Druckminderventil an der Gasflasche installiert werden. Um die Sicherheit zu gewährleisten, wird empfohlen, einen Druck von weniger als 0,02 MPa zu verwenden. Es wird empfohlen, ein Druckminderventil von unserem Unternehmen zu erwerben. Der Bereich des Druckminderventils unseres Unternehmens liegt zwischen 0,01 MPa und 0,1 MPa, was bei der Verwendung genauer und sicherer ist. Wenn die Temperatur des Ofenkörpers höher als 1000 Grad ist, darf sich das Ofenrohr nicht im Vakuumzustand befinden und der Gasdruck im Ofenrohr muss dem Atmosphärendruck entsprechen.
·Die in das Ofenrohr eintretende Gasströmungsrate muss weniger als 200 SCCM betragen, um den Einfluss des Kaltluftstroms auf das beheizte Quarzrohr zu vermeiden.
·Die Langzeitgebrauchstemperatur des Quarzrohrs beträgt<1100℃.
·Für das Experiment zur Probenerwärmung wird nicht empfohlen, das Auslassventil und das Lufteinlassventil am Flanschende des Ofenrohrs zu schließen. Wenn Sie das Gasventil schließen müssen, um die Probe zu erhitzen, müssen Sie jederzeit auf das Manometer achten. Wenn der Druckwert mehr als 0,02 MPa beträgt, müssen Sie sofort das Entlüftungsventil öffnen, um Unfälle (z. B. Ofenrohrbruch, Herausfliegen des Flansches usw.) zu vermeiden.