Vakuumöfen sind Vakuum-Wärmebehandlungsöfen, die nach der Anwendungsausrüstung unterteilt werden und folgende Typen umfassen:
Vakuum-Abschreckofen, Vakuum-Lötofen, Vakuum-Glühofen, Vakuum-Magnetisierungsofen, Vakuum-Anlassofen, Vakuum-Sinterofen, Vakuum-Diffusionsschweißofen, Vakuum-Aufkohlungsofen usw.
Je nach Heizmethode werden Vakuumöfen in Vakuumwiderstandsöfen, Vakuuminduktionsöfen, Vakuumlichtbogenöfen, Vakuumselbstverzehröfen, Elektronenstrahlöfen (auch bekannt als Elektronenbeschussöfen) und Plasmaöfen unterteilt.