Der Vakuumofen besteht im Allgemeinen aus dem Hauptmotor, der Ofenkammer, der elektrischen Heizvorrichtung, der abgedichteten Ofenhülle, dem Vakuumsystem, dem Stromversorgungssystem, dem Temperaturkontrollsystem und dem externen Transportfahrzeug. Die abgedichtete Ofenhülle ist aus Kohlenstoffstahl oder Edelstahl geschweißt, und die Verbindungsflächen der abnehmbaren Teile sind mit einem Vakuumdichtungsmaterial abgedichtet. Um zu verhindern, dass sich die Ofenhülle nach dem Erhitzen verformt und das Dichtungsmaterial beim Erhitzen zerfällt, wird die Ofenhülle im Allgemeinen mit Wasser- oder Luftkühlung gekühlt. Die Ofenkammer befindet sich innerhalb einer abgedichteten Ofenhülle. Je nach Ofenzweck ist die Ofenkammer mit verschiedenen Arten von Heizelementen ausgestattet, wie Widerständen, Induktionsspulen, Elektroden und Elektronenkanonen. Vakuumöfen zum Schmelzen von Metall sind mit Tiegeln ausgestattet, und einige sind mit automatischen Gießvorrichtungen und Manipulatoren zum Be- und Entladen ausgestattet. Das Vakuumsystem besteht hauptsächlich aus einer Vakuumpumpe, einem Vakuumventil und einem Vakuummeter.